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ELS-F125


Image: 
Product Series: 
F-Serie
ELS-F125
Die Elionix ELS-F100 ist ein High-Speed, hochpräzise thermische Feldemissions (TFE) Elektronenstrahl-Lithographiesystem entwickelt, um den Markt für die Bedürfnisse der nächsten Generation nanomeread more


Model:
Model: 
ELS-F125
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • erzeugt Muster mit einer Linienbreite von 7 nm
  • Stable 1,8 nm Elektronenstrahls mit hoher Strahlstrom bei 100 kV
  • Ein 20bit DAC bietet eine hohe Strahlpositionierung Auflösung
  • Bei einem Strahlstrom von 1 nA, kann 20 nm Linien über einen ganzen 500 um
  • 8-Zoll-Bühne
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December 8, 2015