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Harvard-Forscher Select Award Winning 125kV Elektronenstrahl-Lithographiesystem

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Harvard-Forscher Select Award Winning 125kV Elektronenstrahl-Lithographiesystem



Wir freuen uns, ein zweites ELS um von der Harvard Center for Nanoscale-Systeme gelegt für die Elionix ELS-F125 Elektronenstrahl-Lithographiesystem bekannt zu geben. "Wir sind sehr beeindruckt von der Leistungsfähigkeit des neuen Systems", so Dr. Eric Martin, Technischer Direktor des Harvard Center for Nanoscale-Systeme. Weiterlesen >>

December 8, 2015