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ニューヨーク市立大学は、エリオニクス電子ビームリソグラフィシステムをインストールします

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ニューヨーク市立大学は、エリオニクス電子ビームリソグラフィシステムをインストールします



セムテックソリューションは、エリオニクス社と提携し、ニューヨークの(CUNY)先端科学研究センターの市立大学(ASRC)に100kV電子ビームリソグラフィ(EBL)システムの提供を発表しました。 「エリオニクス電子ビームリソグラフィシステムは、日常的にサイズが10ナノメートル未満のパターンを書くことを可能にする、「博士ヤコブトレビノ、ナノファブリケーション施設のディレクターは述べています。 「我々は、このようなナノ光とソリッドステート回路、微小電気機械システムおよびマイクロ流体システムとしての新規マイクロ・ナノスケールデバイスの開発に研究者を支援するためにこのシステム上でカウントされます。" 続きを読む >>

December 8, 2015