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ハーバード大学は、エリオニクスELS-7000 EBLシステムを受け入れ

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ハーバード大学は、エリオニクスELS-7000 EBLシステムを受け入れ



ハーバード大学の研究者は最近、ナノスケールシステムセンター(CNS)でエリオニクスELS-7000100kV電子ビームリソグラフィシステムを受け入れました。 100kVシステムは8nmでの微細なパターンを書き込み、小さなパターンを書き込むときに発生する近接効果を最小化することが可能です。 最新の CNSナノワイヤニュースレター(0.9メガバイトのPDFファイル) 、ELS-7000のインストールに関する次の状態「何製造指定、8nmのよりも、5nmの測定、我々は細かい線を書くことができたインストール中に。」機器はLISE G07、ハーバード大学のLISEの建物の地上階に新しいクリーンルームに位置しています。 続きを読む >>

December 8, 2015