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ハーバード大学の研究者の選択賞は125kV電子ビームリソグラフィシステムを受賞します

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ハーバード大学の研究者の選択賞は125kV電子ビームリソグラフィシステムを受賞します



私たちは、エリオニクスELS-F125電子ビームリソグラフィシステムのためのナノスケールシステムのためのハーバード大学のセンターに配置された第2 ELSオーダーをお知らせいたします。 「我々はこの新システムのパフォーマンスに非常に感銘を受けてい」、博士エリック・マーティン、ナノスケールシステムのためのハーバード大学のセンターのテクニカルディレクターは述べています。 続きを読む >>

December 8, 2015